國(guó)際市場(chǎng)對(duì)太陽(yáng)能電池需求猛增，使其成為近三年來(lái)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售的主要組成部分。自2003年以來(lái)，我國(guó)太陽(yáng)能電池設(shè)備的銷售額每年都以翻一番的速度增長(zhǎng)，年均增長(zhǎng)率達(dá)到97%。預(yù)計(jì)今年我國(guó)太陽(yáng)能電池設(shè)備銷售額將超過(guò)5億元。

光伏產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)太陽(yáng)能電池設(shè)備快速增長(zhǎng)

太陽(yáng)能作為一種用之不竭又到處可取的無(wú)污染的清潔能源，{TodayHot}成為人類首選的可再生能源。有專家分析，如果把地球表面0.1%的太陽(yáng)能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔埽�轉(zhuǎn)變率為5%，那每年的發(fā)電量則相當(dāng)于目前世界能耗的40倍左右。自20世紀(jì)80年代以來(lái)，光伏產(chǎn)業(yè)成為世界上增長(zhǎng)最快的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)之一。

近年來(lái)，歐盟、美國(guó)、日本、澳大利亞等都先后出臺(tái)了利用太陽(yáng)能發(fā)電的扶助政策，有力地推動(dòng)了光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。據(jù)統(tǒng)計(jì)，最近十年，全球太陽(yáng)能電池總產(chǎn)量平均增長(zhǎng)率達(dá)到25.1%，最近五年的平均增長(zhǎng)率為39%，而最近三年更是高達(dá)49.8%以上。

受到太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)快速增長(zhǎng)的拉動(dòng)，處在太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)鏈前端{(lán)HotTag}的制造設(shè)備包括材料提純?cè)O(shè)備、電池和組件制造設(shè)備及相關(guān)的檢測(cè)儀器等，都取得了長(zhǎng)足發(fā)展。2005年全球太陽(yáng)能電池相關(guān)設(shè)備及檢測(cè)儀器產(chǎn)量超過(guò)6000臺(tái)套，銷售額達(dá)到10億美元以上。

國(guó)際市場(chǎng)對(duì)太陽(yáng)能電池的需求猛增，極大地刺激了國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并極大地促進(jìn)了生產(chǎn)太陽(yáng)能電池片的半導(dǎo)體設(shè)備的迅猛增長(zhǎng)。自2003年開(kāi)始，截止到2005年底，我國(guó)在三年時(shí)間內(nèi)新上標(biāo)準(zhǔn)太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（25MW/條）17條，產(chǎn)能接近450MW（兆瓦），是2002年的100倍左右。按當(dāng)時(shí)每條線設(shè)備5000萬(wàn)元的平均投資計(jì)算，設(shè)備市場(chǎng)高達(dá)8.5億元，如果再加上購(gòu)買材料制備設(shè)備如多晶硅鑄錠爐、單晶爐、切割機(jī)、線鋸的投資，國(guó)內(nèi)設(shè)備市場(chǎng)總額超過(guò)了12億元。

2006年1～6月我國(guó)10家太陽(yáng)能電池設(shè)備主要生產(chǎn)廠銷售額已達(dá)到2.64億元，相當(dāng)于2005年全年銷售額的80%。其中，太陽(yáng)能硅材料生長(zhǎng)和加工設(shè)備上半年銷售額1.43億元，太陽(yáng)能電池片制造設(shè)備銷售額1.21億元。預(yù)計(jì)2006年我國(guó)太陽(yáng)能電池設(shè)備銷售額將超過(guò)5億元，光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展給我國(guó)電子專用設(shè)備行業(yè)帶來(lái)了新的市場(chǎng)和發(fā)展機(jī)遇。

我國(guó)已基本具備太陽(yáng)能電池設(shè)備整線供給能力

由于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備很難進(jìn)入大的集成電路生產(chǎn)線，因此企業(yè)為了生存，只能尋找有市場(chǎng)前景的產(chǎn)品。太陽(yáng)能電池設(shè)備價(jià)格比較低，國(guó)外廠商不好介入，而且其技術(shù)難度要比IC設(shè)備小得多，加之國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)，因此目前太陽(yáng)能電池設(shè)備有廣闊的市場(chǎng)前景。北京七星華創(chuàng)、中電科技集團(tuán)第48所等國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)單位都已在這個(gè)領(lǐng)域取得不俗業(yè)績(jī)。

在太陽(yáng)能電池及組件生產(chǎn)設(shè)備方面，國(guó)內(nèi)4條骨干太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線設(shè)備大都依賴進(jìn)口，原用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線的部分國(guó)產(chǎn)設(shè)備在太陽(yáng)能電池生產(chǎn)廠家雖然也有零星應(yīng)用，但性能、可靠性和實(shí)用性都無(wú)法保證。2002年開(kāi)始，通過(guò)和一流企業(yè)合作并引進(jìn)先進(jìn)的工藝技術(shù)，歷經(jīng)多次技術(shù)換代及升級(jí)，國(guó)產(chǎn)的太陽(yáng)能電池及組件生產(chǎn)線關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備如硅片清洗機(jī)、8英寸擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、PSG祛除機(jī)、低溫烘干爐、高溫?zé)�結(jié)爐、絲網(wǎng)制刷機(jī)等相繼在國(guó)內(nèi)大生產(chǎn)線上替代了進(jìn)口設(shè)備，并取得廣泛應(yīng)用。特別是2003年七星華創(chuàng)以及2004年中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所研制成功的電池片制造用最關(guān)鍵設(shè)備之一?熱壁式生產(chǎn)型PECVD設(shè)備，使我國(guó)設(shè)備業(yè)已基本具備太陽(yáng)能電池制造設(shè)備整線供給能力。

國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能電池設(shè)備總體的技術(shù)狀況是：基本具備整線裝備能力，但自動(dòng)化水平較低；部分設(shè)備尚需實(shí)現(xiàn)突破，如全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)和自動(dòng)分檢機(jī)；擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、清洗制絨設(shè)備、烘干爐等設(shè)備達(dá)到或接近國(guó)際先進(jìn)水平，性價(jià)比優(yōu)勢(shì)十分明顯，占據(jù)國(guó)內(nèi)大部分市場(chǎng)。管式PECVD接近國(guó)際先進(jìn)水平，正逐步進(jìn)入大生產(chǎn)線，擴(kuò)大市場(chǎng)份額，尚沒(méi)有平板型PECVD設(shè)備；高溫?zé)�結(jié)爐與國(guó)際先進(jìn)水平有一定差距，但差距不大，開(kāi)始在大生產(chǎn)線逐步使用；全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)尚在開(kāi)發(fā)中，半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)（人工上下料）已進(jìn)入大生產(chǎn)線。

提高電池的最終產(chǎn)品質(zhì)量、光電轉(zhuǎn)換效率及整線生產(chǎn)效率并降低生產(chǎn)成本，始終是太陽(yáng)能電池制造設(shè)備技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。因此，未來(lái)的太陽(yáng)能電池設(shè)備的技術(shù)發(fā)展將圍繞以下幾個(gè)方面：

一是提高單機(jī)自動(dòng)化水平，增加批次裝片量，提高單機(jī)生產(chǎn)效率；二是設(shè)備間機(jī)械手自動(dòng)轉(zhuǎn)送、在線檢測(cè)，提高整線生產(chǎn)效率，減少人工干預(yù)，降低碎片率；三是將更先進(jìn)的工藝技術(shù)物化于設(shè)備，進(jìn)一步提高能電池的光電轉(zhuǎn)換效率，降低每瓦成本；四是進(jìn)一步發(fā)展適合大尺寸、薄硅片的工藝技術(shù)設(shè)備，節(jié)約硅材料，降低成本。