為了縮短氮化周期，并使氮化工藝不受鋼種的限制，在近年間在原氮化工藝基礎上發展了軟氮化和離子氮化兩種新氮化工藝。 
    軟氮化實質上是以滲氮為主的低溫氮碳共滲，鋼的氮原子滲入的同時，還有少量的碳原子滲入，其處理結果與一般氣體氮化相比，滲層硬度較氮化低，脆性較小，故稱為軟氮化。 
    1、軟氮化方法分為：氣體軟氮化、液體軟氮化及固體軟氮化三大類。目前國內生產中應用最廣泛的是氣體軟氮化。氣體軟氮化是在含有活性氮、碳原子的氣氛中進行低溫氮、碳共滲，常用的共滲介質有尿素、甲酰胺、氨氣和三乙醇胺，它們在軟氮化溫度下發生熱分解反應，產生活性氮、{TodayHot}碳原子。 
活性氮、碳原子被工件表面吸收，通過擴散滲入工件表層，從而獲得以氮為主的氮碳共滲層。 
    氣體軟氮化溫度常用560-570℃，因該溫度下氮化層硬度值最高。氮化時間常為2-3小時，因為超過2.5小時，隨時間延長，氮化層深度增加很慢。 
    2、軟氮化層組織和軟氮化特點：鋼經軟氮化后，表面最外層可獲得幾微米至幾十微米的白亮層，它是由ε相、γ`相和含氮的滲碳體Fe3（C，N）所組成，次層為的擴散層，它主要是由γ`相和ε相組成。 
    軟氮化具有以下特點： 
   (1)、處理溫度低，時間短，工件變形小。 
   (2)、不受鋼種限制，碳鋼、低合金鋼、工模具鋼、不銹鋼、鑄鐵及鐵基粉未冶金材料均可進行軟氮化處理。工件經軟氮化后的表面硬度與氮化工藝及材料有關。 
   3、能顯著地提高工件的疲勞強度、耐磨性和耐腐蝕性。在干摩擦條件下還具有抗擦傷和抗咬合等性能。 
   4、由于軟氮化層不存在脆性ξ相，故氮化層硬而具有一定的韌性，不容易剝落。 
   因此，目前生產中軟氮化巳廣泛應用于模具、量具、刀具（如：高速鋼刀具）等、曲軸、齒輪、氣缸套、機械結構件等耐磨工件的處理。